治工具 技術を活性化し世に貢献する特注専用機ショールーム

・専用機名称　　トキソクリーナ.水タンクトラップ(10L/30L) 　 (M 5331)

・半導体産業向け　　　治工具

・概略仕様　　　　　　　IMPLA・CVD設備のO/Hメンテナンス時の可燃性デポ物の
　　　　　　　　　　　　　 除去、クリーニング作業に使用します。トキソ(除害エレメント)
　　　　　　　　　　　　　 クリーナーの前段に本トラップを設置し、ホースを接続し吸引
　　　　　　　　　　　　　 すると、固形物、粉末の有害可燃物デポは水タンクに残り、
　　　　　　　　　　　　　 クリーナのダストボックスには溜まりません。
　　　　　　　　　　　　　 その他、ウエハー、ガラス破片くず、床の水漏れ時の掃除、
　　　　　　　　　　　　　 病院等の埃を嫌う場所の清掃にも効果を発揮します。

・専用機名称　　　クランプリング寸検治具 (M 5325)

・半導体産業向け　　　治工具

・概略仕様　　　　　　　セラミッククランプリングがエッチング処理でエッジ内径
　　　　　　　　　　　　　 が擦り減ることから、設定処理数毎に規定の寸法内に
　　　　　　　　　　　　　 入ってるかを検査する冶具。寸法測定最小：1/100mm
　　　　　　　　　　　　　 この冶具を用いることでバラツキなくメンテナンスが正確
　　　　　　　　　　　　　 に出来ます。

・専用機名称　　　組立て調整検査治具 (M 5324)

・半導体産業向け　　　治工具

・概略仕様　　　　　　　東京エレクトロン製Etching設備のオーバーホールメンテ
　　　　　　　　　　　　　 ナンス時に用いるロードロックアームの組み立て調整用
　　　　　　　　　　　　　 検査冶具。この冶具によりロードロックアームの組み付け
　　　　　　　　　　　　　 が正確に効率的に出来るようになります。

・専用機名称　　　ウェハー取出治具 (M 5302)

・半導体産業向け　　　治具

・概略仕様　　　　　　　カセット内の特定のウェハーを選択的に取り出す治具
　　　　　　　　　　　　　　　(６インチ用、８インチ用、12インチ用)

・概略動作説明　　　　取り出したいウェハーをエジェクター上に誘導してレバー
　　　　　　　　　　　　　 でプッシュアップ

・その他特徴　　　　　 目的とするウェハーを正確に、簡単に取り出すことが可能
　　　　　　　　　　　　　 納　　期 　６インチ用　　　　　１ヶ月
　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　 ８インチ用　　　　　２ヶ月
　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　12インチ用　　　　　２ヶ月
　　　　　　 　　　　　　　価　　格 　６インチ用　　　　　125,000円/１台
　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　 ８インチ用　　　　　お見積り
　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　12インチ用　　　　　お見積り